R&D
研究范围
专利情况
 
专利情况
Home > 研究与开发 > 专利情况

  • - 采用空气轴承的高精密Balancing Machine 旋转轴支撑架,专利第 (10-0877120)
  • - 转子一体型超高速旋转轴的制造方法,专利第 (10-1041389)
  • - 混合式空气轴承主轴,专利第 (10-1143425)
  • - 调温式晶圆真空吸盘制造装置,专利第 (10-1176821)
  • - 空气轴承主轴的防流入异物的结构,专利第 (10-1181705)
  • - 超高速空气轴承主轴的Trust Bearing冷却结构,专利第 (10-1183599)
  • - 设有限位器的晶圆切割空气轴承主轴,专利第 (10-1256358)
  • - 适用于成型晶片的真空吸盘 特许第 (10-1360065)
  • - 可耐热,耐磨损,低摩擦的涂层剂和涂层方法, 专利第 (10-0655366)
  • - 超音波,空气轴承主轴, 专利第 (10-1604989)
Untitled Document

     
 
公司介绍   |   业务介绍   |   产品介绍   |   研究与开发  |   销售服务   |   服务中心
COPYRIGHT 2012 RPS ALL RIGHTS RESERVED

中国分公司/维修中心:奥品斯贸易(深圳)有限公司
深圳市宝安区新湖路华美居商务中心D区1号楼828、829室 (518133)
Room 828, unit 829, 1haolou, D Qu, HuameiJu, Xinhu Road, Baoan, Shenzhen, China
Tel: 86-0755-2307-9405 / 186-8215-5960 Fax: 86-0755-2301-4683
E-mail: rpschina@rps-korea.com
http://www.rps-korea.com.cn