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ボールベアリングスピンドル
多孔質セラミック真空チャックテーブル
ホイルマウント
エアーベアリングシリンダー
 
ホイルマウント
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ホイルマウント

ホイルマウント
ブレードをタイプ別に固定する




Type
Model
Accuracy Flatness
Ring
RWMR 10494
1.5 ㎛
Hub
RWMH 1038
1.5 ㎛

別途仕様受注生産可能

wheel mount
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