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特許現況

  • - エアベアリングを適用した高精密バランシングマシン回転軸フレーム(特許第10-0877120)
  • - 回転子一体型超高速回転軸の製造方法(特許第 10-104-1389) 
  • - ハイブリッド型定圧エアベアリング (特許第 10-1143425)
  • - 温度調節型ウエハ用真空チャック製造装置 (特許第 10-1176821)
  • - エアベアリングスピンドルの異物流入防止構造 (特許第 10-1181705)
  • - 超高速エアベアリングスピンドルのスラストベアリング冷却構造 (特許第 10-1183599)
  • - ストッパーが装着されたウエハダイシング用エアベアリングスピンドル (特許第 10-1256358) 
  • - モールド型ウエハ製造用真空チャック (特許第 10-1360065)
  • - 耐熱、耐摩耗、低摩擦特性を持つコーティング剤およびこれのコーティング方法 (特許第 10-0655366)
  • - 超音波エアベアリングスピンドル (特許第 10-1604989)
  • - Coating material having heat and abration resistance and low friction characteristics, and coating
  • method thereof (ZL200580051354.8)
  • - Beschichtungsmaterial, welches die Eigenschaften von Hitze-und Abrieb-Bestandigkeit und niedriger
  • Reibung aufweist, und Beschi chtungsverfahren dafur(112005003627)
  • - ノズルやポケットラインを備えたラジアルエアベアリングを使用した高 速エアベアリ ングスピンドル
  • (特許第10-1809830)
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